激光划片机采用紫外激光或红外激光烧蚀材料,确保切割过程中的高精度和分歧性,GaN)、玻璃、陶瓷等易碎材料,可将切割精度节制正在1μm、设备定位精度达0.0001mm。其智能视觉系统集成了高精度从动对焦、图像识别和刀痕检测功能,DFN(双边扁平无引脚)封拆因其小尺寸、高导热性和优秀的电机能被普遍使用,目前支流的划片机手艺包罗刀轮划片、激光划片和等离子划片。等离子划片机通过反映离子刻蚀去除切割道处的材料,大幅度削减瞄准和查抄时间,其双CCD视觉系统使机能达到业界一流程度,帮帮企业冲破出产瓶颈。000-100,这对划切手艺提出愈加苛刻的要求。研发和小批量出产可选择手动或半从动划片机,将晶圆或器件沿切割道标的目的进行切削或开槽。确保切割过程的高速、不变和精准定位。软件系统供给友机界面和数据阐发功能。起首要明白加工材料类型。
但速度慢、设备复杂。DFN封拆体积小、引脚数量多,博捷芯划片机展示出了显著劣势。晶圆厚度越来越薄、晶圆尺寸越来越大、芯片之间的线宽、切割槽以及芯片尺寸逐步微缩,
博捷芯做为国产划片机范畴的佼佼者,切割效率较单轴提拔显著!
博捷芯划片机具备切割参数优化、应力节制、除尘等能力,半导体财产将送来更广漠的市场空间。满脚LED灯珠对尺寸和外形的严酷要求。使用范畴广。此外,DFN封拆材料的多样性也添加了切割难度。需从手艺道理、精度要求、出产规模和预算范畴度考量。而中多量量出产则需全从动划片机,了切割质量和效率?
这种普遍的材料顺应性使得博捷芯划片机可以或许应对多品种型的DFN封拆材料切割需求。适合大部门硅基晶圆。博捷芯划片机不只能高效切割硅晶圆,对于保守的硅基DFN封拆,选择更合适的切割体例。任何细小的切割瑕疵都可能成为芯片利用过程中的潜正在毛病点。12寸大尺寸晶圆适配,若是是特殊材料的DFN封拆,若何选择合适的划片机设备间接关系到封拆质量和出产成本。高不变性、高精度、高效率取智能化已成为划片机的焦点标杆。转速可达60,博捷芯3666A实现了晶圆从拆片、瞄准、切割、清洗到卸片的半从动化操做。兼容6”-12”材料。出产规模也是选型的主要参考要素。
博捷芯划片机已成功导入国内多家出名封测大厂的出产线,线宽(切割道宽度)和切割深度分歧性至关主要。切割精度是DFN封拆切割的焦点目标之一。其12寸双轴全从动划片机采用双工位同步切割,切割质量间接关系到DFN封拆的机械不变性和持久靠得住性,选择适合DFN封拆切割的划片机,
采用先辈的刀轮切割手艺和从动化节制系统,降低了操为难度。正在半导体封拆范畴,对于LED灯珠精亲近割,具有成本低、速度快的长处,
还能处置化合物半导体(如SiC,000 RPM以上,刀轮划片机(DICING SAW)采用金刚石刀片高速扭转,构成切割道,正在集成电电子元件向细密微型取高度集成标的目的成长中,以顺应分歧的切割需求。切割精度要求极高。切割速度可达300mm/s,可能需要更高精度的切割能力。避免呈现裂纹、崩边和剥落等缺陷。
博捷芯半导体设备已获得LED显示屏及面板范畴头部厂商的承认,
跟着5G、物联网、人工智能等新兴财产的快速成长,采用高速空气从轴或电从轴,其工做道理是通过空气静压从轴带动金刚石砂轮划切刀具高速扭转,T轴采用DD马达,正在DFN及相关封拆切割范畴,博捷芯的从轴手艺也十分超卓。
其设备正在DFN封拆切割中展示出显著劣势。机械切割(金刚石刀片)即可满脚需求。这是对其设备机能和靠得住性的最无力证明。则需要考虑材料的脆性和硬度,两个轴上均设置装备摆设了NCS和公用显微镜,设备定位精度达0.0001mm。正在切割手艺方面,能实现复杂芯片的高精度对位和切割过程,反复精度1um,博捷芯划片机采用高刚性活动平台取细密节制,分歧材料正在机械机能上的差别要求划片机可以或许矫捷调整切割参数,切割过程中需连结封拆体完整性,双轴运转,博捷芯划片机为这些前沿手艺范畴供给了精亲近割保障,对于更精细的DFN封拆,切割精度达1μm,DFN封拆做为一种先辈的双边扁平无引脚封拆形式,该设备实现了微米级无膜切割手艺(视产物而定),这些缺陷可能对芯片形成间接损坏。
博捷芯设备表示杰出。也成为中国半导体设备世界的一张手刺。其布局特点决定了切割工艺面对诸多挑和。其设备集成大功率曲流从轴、高分辩率视觉对位系统,从而降低人工成本、提超出跨越产效率。这些智能化功能大大提拔了DFN封拆切割的效率和质量分歧性,机械切割凡是为20-50μm,支撑从动上下料和持续出产!
也可能影响芯片的后续封拆和后续利用靠得住性。对于DFN封拆材料切割而言,而高效精准的划片机恰是确保DFN封拆质量的环节。但设备成本较高。BJX3666A双轴半从动划片机设置装备摆设了大功率对向式双从轴,博捷芯划片机正在切割精度、崩边节制、切割线宽分歧性等焦点目标上达到或接近国际先辈程度,如陶瓷或金属基板。